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TS-150高精度主動(dòng)減振平臺(tái)
KOSAKA - ET4000臺(tái)階儀
KOSAKA - ET200A臺(tái)階儀
PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
FSM 128薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備
EVG805-薄晶圓解鍵合系統(tǒng)
EVG805解鍵合晶圓鍵合機(jī)
PhaseCam 4030動(dòng)態(tài)激光干涉儀
PhaseCam 6010Twyman-Green高性能動(dòng)態(tài)干涉儀
FSM413紅外激光測(cè)厚儀
Microsense 5810/6810電容式位移傳感器
Nano X-2000S白光干涉儀
RTEC 白光干涉儀+共聚焦一體機(jī)
PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
FR-Mic全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測(cè)量
FSM 500TC高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備
FS-1FilmSense多波段橢偏儀
DVIA-TDaeil 臺(tái)式主動(dòng)防振臺(tái)